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第七百八十五章 光刻机的技术之墙得用水泡（第2页）

己方原地踏步，国外在追赶，用不了多久，就会被国外追上了！徐教授很着急！

在后世，秦锋也并不知道这个157纳米的光源为啥不能用，但是他知道，尼康赌这个系统，然后失败了，而当时无数次濒临破产的ASML，把制胜的法宝押在了林本坚的浸润式光刻机上，于是成功了。

所以……这还用说吗？

“既然这种光源有问题，那就不要用了。”

“那我们用什么？”徐教授的目光中带着焦虑。

“还用之前的193纳米。”

徐教授睁大了眼睛，不可思议地看向秦锋，秦总，这个光源不够用啊！

不过……秦总既然这么说了，肯定有他的道理，还是听一听他怎么说。

“将这个光源穿过去离子水，水的折射率是多少来着？这样一换算，应该能将波长降低到130纳米左右吧？”

徐教授深深地呼吸了一口气，一旁的倪老已经开口了：“换算过来，是133纳米，这样比157纳米的光源还要小，但是……”

徐教授的脸上带着苦笑：“秦总，咱们的光刻机里是有电路的，您要在光刻机里加水……”

这听上去，有些扯淡啊！

秦锋笑了笑，林本坚当年在硅谷介绍这种技术的时候，所有人都以为他是在扯淡，毕竟之前的光刻机都是干式的，要在里面加水？脑子进水了吧？

只有那个即将破产的ASML，决定押这种技术，然后，ASML就发展成为了世界第一光刻机大厂，苦心钻研157纳米光源的尼康，就彻底落后了！

“听我的，没有错，早期光刻机还是用液压驱动的，里面的液压油，不也是液体的吗？”

最开始的光刻机，还真是液压驱动，万一，万一中的万一，管道崩了，那液压油肯定会喷射的到处都是，正在生产中的所有芯片都会报废。所以后来，都改成了电机驱动。

不过，当时高压的液压油都敢用，现在用一些水，有何不可？

“既然秦总确定，那我们就用这种技术，不过……这也只能解决暂时的问题，继续提升工艺，还是会遇到拦路虎。”

193纳米经过折射变成了133纳米，也就意味着，0.13微米的工艺能解决了，之后进入纳米时代呢？还是会遇到光刻机的光源问题的！

“接下来，一步到位，开发EUV光刻机，光源使用13.5纳米的极紫外波长。”

徐教授一阵惊讶：“这也太快了吧？”

“一步步来，还会不断地遇到技术难题，还不如加大攻关难度，将这个捣鼓出来，以后十年二十年，都不用担心光源问题了。”

秦锋不懂具体的技术细节，但是他懂技术的发展路线，仅仅是这个，就会让己方的技术遥遥领先对手了。

在光刻机的技术探索上，有很多失败的例子，尼康的157纳米是个坑，同时，还有光刻机生产厂研究过126纳米光源，但是，这个波长更奇葩，不仅仅是熔石英会吸收，任何材料的吸收都很厉害，透镜不能用，只能用全反射的方式，结构跨度太大，分辨率也没提升多少。

所以，后世的光刻机厂商各种研究，最终认为，干脆一步到位，上13.5纳米的光源。

这个光源的研究，也是经过了长时间的尝试的，甚至最初还是13.4纳米，各种研究之后，才锁定13.5纳米。

“这个光源……”徐教授仔细地思考了一番：“得在真空中，还得是反射结构。”

反正继续向下选，各种光源都是需要真空环境加反射镜的，和之前的结构完全不同，所以，一步到位！

寻找反射的条件也不容易，最终工程师们找到了反射率最高的Mo-Si布拉格反射器，一层Mo薄膜加上一层Si薄膜，它的最高反射率在13.5纳米波长的位置，于是，这种光源就被确定了下来。

其他的技术路线，X光之类的，都被超越了。

不过，最初的时候，精度并不是特别高，只是比193浸润式光刻机提升了三倍而已，就算是这样，过渡到纳米时代也没问题了，之后不断研究，提升分辨率就可以了。

“具体的结构你们来选择，具体的技术难关，你们来攻克，不过，这条技术路线绝对是没问题的，你们按照这条路线发展就可以！”

秦总虽然是个外行，但是每次提出来的建议都是非常正确的，所以，徐教授没有继续犹豫，点头说道：“好，秦总，那我们就按照这个技术路线来！”

其中有多少技术难题，秦锋也不知道，这是手下们要干的！

现在，总算是没问题了吧？