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“你看,刀具的Lifetime在这里,每切割一次都会留下记录!当刀具的寿命超过标准,设备会自动报警提醒!”谢工指着控制界面说道。
“谢谢!”辛佟点了点头。
采用报警提醒功能不错,这种从源头预防的方法才是正确的管控方式!
他抬起头看了看声光报警器,心中无限感慨。
这才是智慧车间,这才是不需要人为判断的做法。
“切割道宽度是多少?”肉眼看上去,切割后的晶圆依旧完整无缺,凝视着切割中的晶圆,辛佟忍不住好奇地问道。
“辛经理,这把刀能够达到的最小切割线宽度是25微米。”谢工用手指着切割刀说道。
25微米,太锋利了!这可是一代铸剑名师干将莫邪无法想象的厚度,难怪切割无痕啊!
辛佟静静地盯着切割台,很快一层蓝色的薄膜引起了他的兴趣,在减薄工序他也看到过这层蓝膜,不过到了切割工序,蓝膜是固定在一个金属钢圈上。
“非常有意思,晶圆下面的蓝膜套在了钢圈上!”辛佟说道,这让他想起了哪吒的项圈。
“这层Tape是为了保护晶圆在切割过程中免受外部损伤,切割分离后的晶粒会粘在蓝膜上,如果没有蓝膜的话,所有分离开来的晶粒都会掉了,钢圈是用来固定蓝膜的。”谢工解释道。
“噢!”辛佟点了点头。
他静静地看着晶圆切割,除了金庸的武侠小说,他还从来没有见过也从来没有听过有如此又快又锋利的刀!
这真是一把惊世好刀!
大开眼界了!
冷静思考了一下,对于一刀切他还是充满了疑问,担心切割应力会造成晶圆崩边:“谢工,我们减薄后的晶圆厚度还有150微米,一刀切到底是否合理?”
“辛经理,实践经验告诉我们一刀切问题不大,当然现在有切两刀的工艺,叫阶梯切割(StepCut),用两把刀片完成对晶圆的切割,切两刀这种工艺可以有效改善芯片崩边的问题。”谢工说道。
“谢工,我们摩托罗拉项目需要采用阶梯切割,一刀切的风险太大了!”辛佟说道。
虽然没有实践经验,前一世他是理科大神,从受力分析,他觉得两刀切对晶圆施加的应力会少很多,切割后的质量一定更好。
“好的,我今天就安排假片试试这个工艺!”谢工点了点头。
“你可以先试一试,我要的是DOE分析过的工艺,确保万无一失!”辛佟笑着说道。
姜华站在一旁,看他指点四大天王之一的谢剑风,惊讶得说不出半句话来!
这个辛佟早就不是当年那个学渣了!
真诚地感谢大家的支持!提前祝愿大家中秋快乐!
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